等離子清洗技術(shù)已經(jīng)逐漸滲透到我們的生活和工作中，并悄悄地改變了人們的生活質(zhì)量。隨著等離子表面處理技術(shù)的快速發(fā)展，清洗機(jī)已廣泛應(yīng)用于光學(xué)玻璃、汽車制造、紡織面料、電子電器、包裝印刷、塑料加工、化妝品等行業(yè)。

　　

　　等離子體的清洗方式分為化學(xué)清洗、物理清洗和物理加化學(xué)清洗。對(duì)于不同的清潔對(duì)象，可選擇O2、H2和Ar等藝術(shù)氣體進(jìn)行短時(shí)間表面處理。

　　

　　一、什么是化學(xué)反應(yīng)清洗：

　　

　　它采用等離子中的高活性自由基和材料表層的有機(jī)物進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)，采用氧氣清洗，使非揮發(fā)性有機(jī)物變成揮發(fā)性形式，產(chǎn)生二氧化碳，一氧化碳和水。化學(xué)清洗的優(yōu)勢(shì)是清洗速度高，選擇性好，對(duì)清洗有機(jī)污染物質(zhì)更有效的。

　　

　　主要缺點(diǎn)是產(chǎn)生的氧化物可能會(huì)在材料表層再次形成。在導(dǎo)線鍵環(huán)節(jié)中，氧化物這一些缺點(diǎn)可以通過(guò)適當(dāng)?shù)墓に噮?shù)來(lái)避免。

　　

　　二、什么是物理反應(yīng)清洗：

　　

　　利用等離子中的離子進(jìn)行純物理沖擊，清除附著在材料表層的原子，氬氣用于清潔，氬氣用足夠的能量轟擊器件表層，足以清除產(chǎn)品表面的污垢。例如：聚合物中的大分子被分離成小分子并蒸發(fā)，并通過(guò)真空泵排出。

　　

　　同時(shí)，氬氣等離子清洗后，可以改變材料表層的微觀形式，使材料在分子級(jí)范圍內(nèi)變得更加粗糙，可以大大提高表面活性，提升表層的粘結(jié)性能。

　　

　　氬氣等離子的優(yōu)勢(shì)是清潔材料表層不會(huì)留下任何氧化物。缺點(diǎn)是過(guò)度腐蝕或污染物質(zhì)顆粒可能在其他不希望區(qū)域重新積累，但這一些缺點(diǎn)可以通過(guò)詳細(xì)調(diào)整工藝參數(shù)來(lái)控制。

　　

　　三、在清洗過(guò)程中，可同時(shí)清洗物理化學(xué)進(jìn)行反應(yīng)：

　　

　　物理反應(yīng)和化學(xué)反應(yīng)在清洗中起著關(guān)鍵作用。如果在線等離子清洗環(huán)節(jié)中采用O2混合氣體，反應(yīng)速率比單獨(dú)采用Ar或O2快。氬離子加速后，產(chǎn)生的動(dòng)能可以提升氧離子的反應(yīng)能力，因此物理化學(xué)方法可以清除污染嚴(yán)重的材料表層。